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半导体光电2018年第39卷第5期 目录
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2018年39期
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This paper presents a new optical interferometric system, MMI-T/G, composed of a modified four-beam moire interferometer and a Twyman/Green interferometer. The MMI-T/G system can measure three-dimensional displacement fringe patterns with a single loading
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