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激光脉冲法研究多孔SiO2薄膜的纵向热导率
激光脉冲法研究多孔SiO2薄膜的纵向热导率
来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bigwbiso
【摘 要】
:
采用激光脉冲法成功地测量了Si工上多孔SiO2薄膜的纵向热导率。冲苗测量了
【作 者】
:
刘芸
【机 构】
:
西安交通大学,西安
【出 处】
:
西安交通大学学报
【发表日期】
:
1998年9期
【关键词】
:
激光脉冲法
多孔膜
二氧化硅膜
纵向热导率
laser flash methodporous filmSiO2 filmslongitudinal therma
【基金项目】
:
国家“八六三”高技术新材料领域研究资助!项目 (86 3 715 0 5 0 1 0 3)
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采用激光脉冲法成功地测量了Si工上多孔SiO2薄膜的纵向热导率。冲苗测量了
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