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采用降低电子轰击型离子源(EI源)中轰击电子能量的方法定量分析了西安地区天然空气中的Ne。将EI源中的轰击电子能量设置为43.5 eV,以去除40Ar2+对20Ne+的干扰。以此参数为核心,优化了其他离子源参数。利用在线同位素稀释法对西安地区天然空气中的氖进行了5次分析,相对标准偏差为0.6%,平均值与文献值在2%以内符合,说明这种去干扰的方法可用于氖的定量分析。