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利用高分子包覆法（Polymer Capping Method）在Si衬底上生长了颗粒分布均匀、致密的纳米ZnO薄膜。样品的形貌和光学性能分别使用SEM，AFM和PL谱进行表征。实验发现，前驱体溶液的pH值对纳米颗粒的分散性和尺寸有很大影响，进而影响紫外发光峰位。在本实验条件下，随纳米颗粒尺寸增大，PL谱的紫外发光峰红移，符合量子尺寸效应。