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We report on the fabrication and characterization of a ZnO-based film-bulk acoustic-resonance device utilizedas biosensor.
,Fabrication and Characterization of ZnO-Based Film Bulk Acoustic Resonator with a High Working Freq
【摘 要】
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We report on the fabrication and characterization of a ZnO-based film-bulk acoustic-resonance device utilizedas biosensor.
【作 者】
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【机 构】
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Department of Applied Physics and Materials Research Centre, The Hong Kong Polytechnic University, H
【出 处】
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中国物理快报（英文版）
【发表日期】
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2005年3期
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