【摘 要】
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针对普通压电作动器行程较短的缺点,提出一种具有Cymbal结构的复合压电陶瓷作动器的结构设计.通过将压电陶瓷微小的径向位移放大,转换成轴向位移,扩大了作动器的行程.在作动
【基金项目】
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中国科学院资助项目，中国物理研究院科研项目
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针对普通压电作动器行程较短的缺点,提出一种具有Cymbal结构的复合压电陶瓷作动器的结构设计.通过将压电陶瓷微小的径向位移放大,转换成轴向位移,扩大了作动器的行程.在作动器控制系统设计中,一方面在硬件结构设计中引入了高精度的位移传感器闭环反馈系统,另一方面通过对作动器的输出进行软件补偿的方法,消除了Cymbal型复合压电作动器自身存在的输出磁滞性和非线性的缺点,大幅度提高了系统的开环控制特性,实现了对作动器的高精度控制.实验结果证明系统设计有效.
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