论文部分内容阅读
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法－等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现了与ＩＣ加工工艺兼容良好的ＳｎＯ２薄膜成形技术。
PECVD及溅射／蒸发生长二氧化锡薄膜的成形技术
【摘 要】
：
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法－等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现了与ＩＣ加工工艺兼容良好的ＳｎＯ２薄膜成形技术。
【机 构】
：
沈阳电子工业部第四十六研究所
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
：
1995年3期
其他文献
提出了一种简易数字频率测量方案，利用单片机自身的定时器和计数器对被测信号进行计数，并将最终的测量结果在外接数码管中显示．同时，给出了该频率计的仿真电路图和实物图，结果显示
<正>1污闪事故的形成污闪事故的形成有两种情况:一是由于化工厂、冶炼厂等排放的多种废气及水泥厂等排放的粉尘、碳粒,长期污染电力线路,遇到细雨、大雾、融雪等潮湿天气时,
最近，笔者在某单位听到员工们说的一段话，笔者对此甚感忧虑。咱们领导在每次活动前都会强调，不管谁的工作开展不到位，都要按照责任追究考核办法，对责任单位和责任人进行严肃考核、
高职院校思想政治工作关系高职院校培养什么样的人、如何培养人以及为谁培养人这个根本问题.要用好思政课堂教学这个主渠道显得尤为重要.在信息高速发达的时代,传统的课堂教
连锁零售业从上个世纪90年代才在中国兴起,到今天虽然才十几年时间,算得上是一个朝阳产业.2004年12月11号以前国家在地域、股权和经营范围等领域对国外零售巨头做了很多限制,
本文介绍了ＩＳＦＥＴ（离子敏场效应管）的结构原理、设计考虑、制造工艺和封装技术，提出了背接触封装结构，提高了ＩＳＦＥＴ型ＰＨ传感器的可靠性和使用寿命。
“健康：少得病=免疫力强”，这样一个等式被很多保健产品用作宣传理论。作为人体健康的一道防线，免疫力到底是怎么回事，相信大多数人并不一定清楚。
劳动权与商业秘密权是两项性质不同、位阶有别的权利,二者之间存在矛盾和冲突。构建科学、合理的竞业禁止制度,可以有效平衡劳动权与商业秘密权之间的利益关系,充分保护劳动
近日英特尔联合Accela软件公司，在美国俄亥俄州某城市成功的部署了其无线系统。使整个城市都处于一个无线网络之中，该系统连接城市的中央数据库，公民和政府公务员可以在各自授权
提出将3D打印技术植入STEAM教育中,从3D打印课程建设、3D打印与创新教育融合、基于3D打印的STEAM教育整合三个层面递进,探索构建“STEAM＋3D”的跨学科教育模式,培育学生的工匠