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本文研究了3英寸372×276象素a-SiTFT有源矩阵的优化设计理论，讨论了材料物理参数和器件结构参数对器件性能的影响，并对其制作工艺进行了系统研究。
10万象一纱a—SiTFT有源矩阵的优化技术
【摘 要】
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本文研究了3英寸372×276象素a-SiTFT有源矩阵的优化设计理论，讨论了材料物理参数和器件结构参数对器件性能的影响，并对其制作工艺进行了系统研究。
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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液晶通讯
【发表日期】
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1995年1期
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