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随着大规模集成电路的发展，光刻机物镜曝光的特征线宽指标越来越高，对物镜位置及位置稳定性的要求也与日俱增。为此，本文提出了一种采用压电陶瓷作为作动器与传感器的方法，实现了对光刻机物镜的微振动主动控制。可使物镜位置稳定性提高35%左右，从而提高物镜成像质量。
基于压电技术的光刻机物镜隔振设计与研究
【摘 要】
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随着大规模集成电路的发展，光刻机物镜曝光的特征线宽指标越来越高，对物镜位置及位置稳定性的要求也与日俱增。为此，本文提出了一种采用压电陶瓷作为作动器与传感器的方法，实现了
【机 构】
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上海微电子装备有限公司
【出 处】
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机械工业标准化与质量
【发表日期】
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2014年7期
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