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本文在讨论激光衍射计量原理的基础上,提出了一种实用的激光衍射测量系统,并给出了几种应用该系统进行测试的实例。文章提供了实测的结果数据,分析了实际测试精度,指出该技术在生产和科研上的应用前景。
激光衍射技术在精密测试中的应用
【摘 要】
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本文在讨论激光衍射计量原理的基础上,提出了一种实用的激光衍射测量系统,并给出了几种应用该系统进行测试的实例。文章提供了实测的结果数据,分析了实际测试精度,指出该技术
【机 构】
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天津大学,天津大学
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1990年2期
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