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2012年，我国半导体照明产业整体规模达到了1920亿元，较2011年的1560亿元增长23％，增速有所放缓，成为近几年国内半导体照明产业发展速度最低的年份。其中上游外延芯片、中游封装、下游应用的规模分别为80亿元、320亿元和1520亿元。虽然部分企业大大缩减了预期投资，但MOCVD设备仍然有较大的增长。2012年国内新增MOCVD260余台，使国内的MOCVD总数达到980余台，在区域分布上主要集中在江苏与安徽两省，占到了总数的48％。