【摘 要】
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在TFT玻璃制作过程中,对玻璃进行化学蚀刻减薄是薄化企业中一项重要环节。由于蚀刻减薄产品主要是Si02,目前主要都是利用HF与蚀刻产品中的Si02以及其他金属氧化物进行化学反
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在TFT玻璃制作过程中,对玻璃进行化学蚀刻减薄是薄化企业中一项重要环节。由于蚀刻减薄产品主要是Si02,目前主要都是利用HF与蚀刻产品中的Si02以及其他金属氧化物进行化学反应,使玻璃材质腐蚀剥离,从而达到快速减薄产品等加工要求。根据基本化学反应原理可知,在蚀刻减薄生产环节中将产生大量的含氟酸液、以及一些难容的金属氧化物。目前企业主要采用石灰或石灰石中和处置法。这类方法可以使废液达标排放,但这一过程会产生大量的含Ca SO4、Ca F2的混合固体,该混合固体后续处置的成本极高,且浪费了废液中大量未反应的含
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