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非晶硅中的硅氢键与光致亚稳缺陷
非晶硅中的硅氢键与光致亚稳缺陷
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:candry
【摘 要】
:
我们曾经提出:在a-Si∶H中光致亚稳缺陷的产生是由于Si-H键断裂,本文将进一步论述这种缺陷产生的可能微观机构,着重讨论微空洞在亚稳缺陷产生中的作用,并提出:光照不仅使悬键
【作 者】
:
秦国刚
孔光临
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1989年9期
【关键词】
:
非晶硅
硅氢键
亚稳缺陷
Amorphous silicon
Si-H bond
metastable defects
microvoids
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我们曾经提出:在a-Si∶H中光致亚稳缺陷的产生是由于Si-H键断裂,本文将进一步论述这种缺陷产生的可能微观机构,着重讨论微空洞在亚稳缺陷产生中的作用,并提出:光照不仅使悬键增多,同时也使Si-Si弱键增多的机构.
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