【摘 要】
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微机械(MEMS)圆盘谐振器的振荡器具有相位噪声低,抖动小,温漂小等特点.采用TSMC 0.18μm CMOS工艺设计实现了一款用于驱动MEMS圆盘谐振器的高增益、低噪声和低功耗跨阻放大器
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微机械(MEMS)圆盘谐振器的振荡器具有相位噪声低,抖动小,温漂小等特点.采用TSMC 0.18μm CMOS工艺设计实现了一款用于驱动MEMS圆盘谐振器的高增益、低噪声和低功耗跨阻放大器.该放大器采用低功耗宽带电流预放大和电流电压转换级输入技术,结合基于Cherry-Hooper反相器电压放大的电路结构,实现了增益、带宽、噪声、低电源电压和动态范围等指标间的折衷,成功驱动了MEMS圆盘谐振器.Spectre仿真表明,单端跨阻增益高达115dBΩ,-3dB带宽超过500MHz,等效输入噪声电流平均值为25pA/槡Hz,功耗仅为17.6mW,芯片面积(包括所有PAD)为620μm×620μm.
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