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利用电化学腐蚀方法,在自制的电解加工机床上连续实现微细工具电极的制作和工件的加工,通过试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响.结果表明,减小脉冲宽度,降低加工电压,可以提高微细电解加工的精度.利用优化的加工参数,进行了微小孔加工、微细直写加工以及成形电极微细加工的实验.