2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统

来源 :2010年全国几何量精密测量技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:never03330
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
阐述了2 m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准。最后对2 m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2 m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10 nm(1σ)。
其他文献
目的 探讨原癌基因人类表皮生长因子受体-2(HER-2)和拓扑异构酶Ⅱ(TOPO-Ⅱα)在卵巢上皮癌组织中的表达及其相关性.方法 采用免疫组化SP方法检测经病理确诊的58例卵巢上皮癌
剪刀是手术中的必备用物,手术器械包中常备有多把剪刀.卫生部下发的要求:在灭菌过程中,必须暴露物品的各个表面,如剪刀必须充分撑开,剪刃及轴节处于暴露状态,以利灭菌因子接
目的 研究甲基多巴α亚基(Mep1A)基因在肝癌组织中的表达情况及其对肝癌细胞生长的影响,为了解肝癌发病的分子机制奠定理论基础.方法 利用半定量PCR方法和real-time PCR方法
目的 调查不同性别和专业军医大学生的毕业期待情况.方法 通过自制问卷,调查不同性别和专业军医大学生的毕业期待、期望毕业去向和对毕业前景所持态度等.结果 不同性别、专业
目的 比较心理基因重组疗法治疗神经官能症的临床效果.方法 按CCMD-3诊断标准筛选神经官能症患者68例随机分成2组,分别使用心理基因重组疗法和认知行为疗法进行为期3~6个月的
目的 了解新疆伊犁地区哈萨克族人群代谢综合征(MS)及外周动脉疾病(PAD)的患病情况,并探讨MS合并PAD的相关危险因素.方法 2007年10月至2009年6月,应用四阶段整群随机抽样法,
目的 探讨护理干预对初产产妇心理状态和睡眠质量的影响.方法 初产妇94例,在知情同意情况下,按数字表法随机分为对照组和干预组各47例,对照组采用常规护理和产前、产后指导,
细胞间黏附分子-1(intercellular adhesion molecule-I,ICAM-1)是黏附分子中免疫球蛋白家族中的一员,通过介导细胞-细胞、细胞-胞外基质间的黏附和相互作用,参与了机体内众多
目的 探讨卵巢肿瘤患者妊娠合并血清糖蛋白抗原125(CA125)和甲胎蛋白(AFP)水平及与临床病理特征的关系.方法 85例妊娠合并卵巢肿瘤患者作为观察组,正常孕妇85例作为对照组,
目的:研究不同表面处理方法对Upcera氧化错基底材料与Cercon ceram kiss饰面瓷结合强度的影响.方法:以计算机辅助设计/计算机辅助制作(CAD/CAM)切削后未做其他处理的试样为对