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原子泡是CPT（相干布居囚禁）原子钟物理部分的主体,对于微型原子钟而言,传统的吹玻璃法已不再适用,必须用新的技术和方法来设计加工原子泡。介绍了利用MEMS（微机电系统）技术结合吹玻璃法、空心光纤嵌套法和MEMS方法加工微型原子泡的工艺以及碱金属原子和缓冲气体的几种常见的注入方法。
CPT原子钟的微型原子泡加工工艺综述
【摘 要】
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原子泡是CPT（相干布居囚禁）原子钟物理部分的主体,对于微型原子钟而言,传统的吹玻璃法已不再适用,必须用新的技术和方法来设计加工原子泡。介绍了利用MEMS（微机电系统）技术结合吹
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,长治医学院
【出 处】
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时间频率学报
【发表日期】
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2010年1期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（973计划）前期预研资助项目（2007CB316504）, 国家重点实验室基金资助项目（9140c1204040808）, 山西省重点实验室开放基金资助项目（200703018）
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