【摘 要】
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本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四极／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系统。该系统简单，易于调整，对照明能量损失少，对
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本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四极／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系统。该系统简单，易于调整，对照明能量损失少，对分辨力和焦深同样有较大程度提高。
In this paper, aiming at the shortcoming of low energy utilization efficiency of quadrupole / toroidal off-axis tilting of submicrometer step-and-repeat projection lithography, a system of binary optical element for off-axis tilting illumination was designed. The system is simple, easy to adjust, less loss of lighting energy, the same resolution and depth of focus to a greater extent.
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