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利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达± 2 μm。
一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究
【摘 要】
：
利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达± 2 μm。
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院
【出 处】
：
光学精密工程
【发表日期】
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2001年02期
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