【摘 要】
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１引言 以硅化铁为中心的金属硅化物薄膜可以采用溅射、真空蒸镀、分子束外延技术、离子注入等诸多方法制作，并对其单晶性能和电子结构、电－光性质等基础物理生态进行了研究。目
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１引言 以硅化铁为中心的金属硅化物薄膜可以采用溅射、真空蒸镀、分子束外延技术、离子注入等诸多方法制作，并对其单晶性能和电子结构、电－光性质等基础物理生态进行了研究。目前，虽已积累许多研究成果，但还不能说对金属硅化物的实体已充分解释明白，尤其是对应用方面的研
1 Introduction Ferrosilicon as the center of the metal silicide film can be sputtered, vacuum evaporation, molecular beam epitaxy, ion implantation and many other methods, and its single crystal properties and electronic structure, electro-optical properties of basic physics Ecology was studied. At present, although many research results have been accumulated, it can not be said that the entity of the metal silicide has been fully understood, especially for the application
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