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根据声发射理论，采用金刚石刀具在自动划痕仪上进行SiC单晶塑脆转换的临界条件实验，建立了SiC划痕实验过程中的声发射（AE）信号模型，利用扫描电镜（SEM）观察SiC单晶的表面形貌。结果表明，SiC划痕过程中也存在着明显的声发射Kaiser效应点，表面的划痕和切屑也表明该单晶材料同其它典型硬脆材料如玻璃和硅类似，材料去除存在着塑性到脆性的转换过程，同时分析了划痕过程中的微细粉末状碎屑的产生机理和刀具角度与塑脆转换的关系。