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本文讨论数字式小型激光球面干涉仪设计研制目的、意义以及干涉仪的光学系统及仪器结构设计原则和设计精度指标分配.简述干涉图像数字处理系统及软件功能要求等.
数字式小型激光球面干涉仪的研制
【摘 要】
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本文讨论数字式小型激光球面干涉仪设计研制目的、意义以及干涉仪的光学系统及仪器结构设计原则和设计精度指标分配.简述干涉图像数字处理系统及软件功能要求等.
【机 构】
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【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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2004年期
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