差动光程差倍增法测量微小位移

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【摘要】

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基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化.采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提

【作者】

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【机构】

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华南理工大学理学院

【出处】

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物理实验

【发表日期】

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2009年6期

【关键词】

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基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化.采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提高到亚微米量级.

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