【摘 要】
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为满足磁悬浮轴承位移检测对电涡流传感器小型化、0.5～1 mm测量范围内高灵敏度、高线性度、动态响应特性好等要求,应用ANSYS有限元仿真软件,建立电涡流传感器检测模型,仿真研
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为满足磁悬浮轴承位移检测对电涡流传感器小型化、0.5～1 mm测量范围内高灵敏度、高线性度、动态响应特性好等要求,应用ANSYS有限元仿真软件,建立电涡流传感器检测模型,仿真研究电涡流传感器探头线圈内径、外径、匝数和激励频率等参数对线圈阻抗、电感的影响.制作空气磁芯的电涡流传感器,设计测量电路并制作PCB板,搭建试验平台,试验分析材料、激励频率对电涡流传感器用于磁轴承位移检测时灵敏度和量程的影响.
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