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衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong477

【摘 要】

：

采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3（001）和MgO（001）衬底上沉积了Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器。利用X射线衍射仪、原子力显

【作 者】

：

娄建忠 李振娜 方晓燕 代秀红 宋安英 宋建民 刘保亭 

【机 构】

：

河北大学电子信息工程学院,河北大学物理科学与技术学院

【出 处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

脉冲激光沉积 Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜 外延 介电性能 pulsed-laser deposition Ba0.6Sr0.4TiO3 thin film 

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采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3（001）和MgO（001）衬底上沉积了Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器。利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介电特性进行表征。研究发现：两种衬底都可以实现BST（001）薄膜的外延生长,MgO和LaAlO3衬底上BST薄膜的晶粒尺寸分别为52 nm和42 nm。在室温40V偏置电压下,Pt/BST/MgO和Pt/B

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