（Ti,Al）N薄膜的升温出气特性研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yinlei102

【摘要】

：

介绍了采用多弧离子镀方法在不锈钢表面镀覆(Ti,Al)N薄膜,并对膜的结构、表面成分和形貌进行了简单分析,用热出气方法研究其出气特性,并与不锈钢的热出气性能进行比较,发现在

【作者】

：

马乾廷谢子燕

【机构】

：

中科院北京真空物理开放实验室,中科院北京真空物理开放实验室北京100080,北京100080,北京100080

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1993年5期

【关键词】

：

不锈钢氮化钛氮化铝薄膜离子镀 Stainless steel (Ti Al)N Thermal outgassing

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介绍了采用多弧离子镀方法在不锈钢表面镀覆(Ti,Al)N薄膜,并对膜的结构、表面成分和形貌进行了简单分析,用热出气方法研究其出气特性,并与不锈钢的热出气性能进行比较,发现在不锈钢表面镀覆一层(Ti,Al)N膜可以有效地阻挡不锈钢体内氢扩散和碳偏析,因此(Ti,Al)N是比较理想的真空材料。更多还原

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