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数控机床、加工中心和机器人一类的数控装备，经常需要按指令使运动部件执行足够精确的运动轨迹控制，然而由于驱动－执行－反馈－伺服系统中不可避免的干扰以及制造调整误差的存在，常使得实际执行的插补运动轨迹与理想的指令大相径庭。该文介绍追溯引起这类装备精度异常或故障源的基本方法、原理、国际标准、实例和实施精度诊断后的显著效果。重点介绍了双球规的研究和应用情况，并对国内外现有的仪器、方法及相关研究与应用情况作一述评。最后指出：实施精度诊断乃是保证数控装备运行质量和发挥其潜力的最基础工作，其紧迫性不容置疑。