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利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500nm的类金刚石碳膜（DLC膜）。采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力，分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布；利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性；将表面沉积DLC膜的氮化硅陶瓷球经历不同温度循环后分别装入满装角接触轴承，测试了轴承的滚动摩擦力矩。试验结果表明：在常温到350℃范围内，氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑动摩擦因数和轴承的滚动摩擦力矩值，但随着温度的升高，DLC膜的磨损寿命变短。在经历400℃热循环后，陶瓷