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介绍了反应离子刻蚀的二维模型,模型包括各项同性刻蚀和各向异性刻蚀两部分.为模拟反应离子刻蚀过程中材料的表面轮廓,采用线算法和元胞算法的混合算法,用C++编写计算机模拟软件.模型中的参数随反应离子刻蚀工艺参数的变化而变化,由实验提取.软件可以模拟任意起始条件下不同材料的刻蚀形貌.给出的模拟结果与实验结果吻合.