钛酸钡陶瓷膜形成过程的AFM研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chinatobacco666

【摘要】

：

高介电薄膜材料由于具有较高的电荷存储能力而作为集成电路上的芯片电容,可减少集成电路上电容所占面积,提高电路集成效率,因而日益受到人们的关注,BaTiO3薄膜即是重要的薄膜

【作者】

：

翟学良杨芙丽李纪标周鸿娟

【机构】

：

河北师范大学实验中心

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

钛酸钡陶瓷膜原子力显微镜薄膜晶体结构高介电薄膜材料显微结构分析

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高介电薄膜材料由于具有较高的电荷存储能力而作为集成电路上的芯片电容,可减少集成电路上电容所占面积,提高电路集成效率,因而日益受到人们的关注,BaTiO3薄膜即是重要的薄膜材料之一.本文作者采用溶胶-凝胶甩膜法制备钛酸钡系薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)考察制备过程中薄膜的微观形态变化及钛酸钡的结晶习性.

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