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本文介绍了新型硬质涂层和硬质涂层沉积技术中电弧离子镀和磁控溅射镀技术的新进展。
沉积硬质涂层技术的新发展
【摘 要】
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本文介绍了新型硬质涂层和硬质涂层沉积技术中电弧离子镀和磁控溅射镀技术的新进展。
【机 构】
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北京联合大学机电学院 北京100020;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2007年04期
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