【摘 要】
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为了消除由双轴倾角传感器基准面加工误差、电子元器件的焊接误差、电路板的安装误差和标定过程不规范所带来的传感单元敏感轴与标定平台的旋转轴之间的平行误差，在MEMS倾角传
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为了消除由双轴倾角传感器基准面加工误差、电子元器件的焊接误差、电路板的安装误差和标定过程不规范所带来的传感单元敏感轴与标定平台的旋转轴之间的平行误差，在MEMS倾角传感器的测量原理基础上，分析了双轴倾角传感器标定过程中误差的来源并建立了标定误差的数学模型．根据该误差模型对测量数据进行了模拟，分析模拟结果并提出了有效的软件实时修正的标定方法，弥补了传统标定方法的不足．对采取该修正方法前后的数据进行比较，实验结果表明传感器输出数据误差减小了1个数量级以上．文中方法可明显提高双轴倾角传感器的标定精度．
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