【摘 要】
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为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性，提出一种新型的高精度快速自动对焦技术方案。该系统利用光学三角法测距原理将汇聚到工作台上的激光光斑成像在CC
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为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性，提出一种新型的高精度快速自动对焦技术方案。该系统利用光学三角法测距原理将汇聚到工作台上的激光光斑成像在CCD上，再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦。实验结果表明：显微镜重复对焦精度可以达到0．1um，对焦时间小于200ms，满足工业光学检测系统中实际应用的需要。
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