【摘 要】
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A 700 V triple RESURF nLDMOS with a low specific on-resistance of 100 mΩ·cm~2 is designed.Compared with a conventional double RESURF nLDMOS whose P-type layer
【机 构】
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State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Scienc
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A 700 V triple RESURF nLDMOS with a low specific on-resistance of 100 mΩ·cm~2 is designed.Compared with a conventional double RESURF nLDMOS whose P-type layer is located on the surface of the drift region,the P-type layer of a triple RESURF nLDMOS is located within it.The difference between the locations of the P-type layer means that a triple RESURF nLDMOS has about a 30%lower specific on-resistance at the same given breakdown voltage of 700 V.Detailed research of the influences of various parameters on breakdown voltage,specific on-resistance,as well as process tolerance is involved.The results may provide guiding principles for the design of triple RESURF nLDMOS.
A 700 V triple RESURF nLDMOS with a low specific on-resistance of 100 mΩ · cm ~ 2 is designed. Compared with a conventional double RESURF nLDMOS whose P-type layer is located on the surface of the drift region, the P-type layer of a triple RESURF nLDMOS is located within it. The difference between the locations of the P-type layer means that a triple RESURF nLDMOS has about a 30% lower specific on-resistance at the same given breakdown voltage of 700 V. Diedailed research of the influences of various parameters on breakdown voltage, specific on-resistance, as well as process tolerance is involved. The results may provide guiding principles for the design of triple RESURF nLDMOS.
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