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本文给出了一个采用倒封装技术实现的硅热风速传感器的封装结构。该传感器使用铜柱凸点技术，倒装于薄层陶瓷上。利用陶瓷的导热性能实现传感器芯片的加热元件和环境风速的热交换，同时陶瓷又起保护和支撑传感器芯片的作用。测试结果表明，封装后的传感器具有良好的性能。
采用倒封装技术的硅热风速传感器封装的研究
【摘 要】
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本文给出了一个采用倒封装技术实现的硅热风速传感器的封装结构。该传感器使用铜柱凸点技术，倒装于薄层陶瓷上。利用陶瓷的导热性能实现传感器芯片的加热元件和环境风速的热交
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年1期
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