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本文探讨了真空软氮化工艺参数对渗层特性的影响,并与气体软氮化、真空氮化进行了比较。通过离子探针、扫描电镜、波谱仪、声发射等对渗层C·N含量及分布、相结构、应力状态、抗咬合、脆性等进行测试。表明真空软氮化新工艺、具有渗速快、脆性小、变形小、节能、耐磨性和抗咬合性能好等特点。该工艺用于标准件十字槽冲头和六方下冲,寿命均达到30多万件,提高寿命10多倍,技术经济效益极为显著。