论文部分内容阅读
以MEMS技术为核心的智能化、微型化、集成化新型传感器大量使用在汽车上,正逐渐成为汽车传感器的主流产品。本文对汽车MEMS传感器的发展现状、汽车MEMS传感器的分类进行了介绍性的论述,并对汽车典型的几种MEMS传感器,压力传感器、加速度计、微机械陀螺进行了较详细论述;最后针对汽车MEMS传感器的发展现状,展望了未来发展趋势并提出几点要求。