基于背景光调制的复合光傅里叶变换轮廓术

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jizhidong2009
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提出一种壤于背景光涮制的用于傅里叶变换轮廓术测量范同的复合光栅.该光栅通过调制一正弦条纹和不禽任何相位信息的背景光来抑制零频,较基于”相移技术的复合光栅有更大的优势:背景光只禽直流分培,使得复合上栅的频谱更加简单.有利于滤出载波信息,提高测量精度;对从复合光栅中解调出来的背景光只涉及平均值校准,校准过程更为简单:解渊出的背景光与物体表面的反射率成正比.具有潜在的心用价值。采月JMatlab程序对该复合光栅进行了数值模拟.并对陔光栅实用性进行了实验研究,结果证实了陔光栅川于抑制零频、扩大傅里叶变换轮廓术测量
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