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介绍了应用于扫描近场光学显微术（SNOM）传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器（VCSEL）的粘合集成方法，并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明，该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上，实现微探尖与出光窗口的对准，并且整个过程中不会对微探尖造成损伤。这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值。