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介绍了光伏太阳能电池片产生的PECVD工序中石墨舟精准定位的重要性，设计了一种新型的石墨舟定位机构，阐述了其工作原理，利用Solidworks的Simulation模块对石墨舟定位机构分别进行建模和变形分析，提出了装配方法，保证了定位基准面的安装精度。
石墨舟定位机构的设计与优化
【摘 要】
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介绍了光伏太阳能电池片产生的PECVD工序中石墨舟精准定位的重要性，设计了一种新型的石墨舟定位机构，阐述了其工作原理，利用Solidworks的Simulation模块对石墨舟定位机构分别进行建模和变形分析，提出了装配方法，保证了定位基准面的安装精度。
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2020年01期
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