【摘 要】
：
本文采用直流磁控反应溅射法,在单晶S,(110),A1/Si,Diamond/Si三种衬底上分别生长出了高度c轴取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高质量的纳米级结晶度(10nm~30nm),良好的表面平整度(
【机 构】
：
清华大学材料系先进材料教育部重点实验室,清华大学材料与工程系(北京)
论文部分内容阅读
本文采用直流磁控反应溅射法,在单晶S,(110),A1/Si,Diamond/Si三种衬底上分别生长出了高度c轴取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高质量的纳米级结晶度(10nm~30nm),良好的表面平整度(低于10nm),高于10<,7>·Ωcm电阻率及较高的应力承载性,很好的满足了薄膜声表面波(SAW)器件制备及降低损耗的需要.通过改变工作气压,氩氧比等工艺参数,较系统地探索了ZnO薄膜的制备条件.采用多种分析手段,如X射线衍射(SRD),扫描电镜(SEM),高能反射式电子衍射(RHEED),原子力显微镜(AFM)等对薄膜的微观结构及结晶品质进行了测试分析,并对薄膜的电学性能及机械性能进行了考察.
其他文献
光学发射光谱(OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一,可以定量地给出等离子体的多种重要参数,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等.本文介绍了
目的探讨用硬膜外腰麻导管顺行插管治疗泪道阻塞的效果。方法用外径1mm聚乙烯硬膜外腰麻导管，经下泪小点向下顺行插管置入经泪囊、鼻泪管到达下鼻道，导管暂时存留在泪道内，使阻
以吡咯和苯甲醛为原料合成了5-苯基-2,2′-二吡咯甲烷,利用[2＋2]合成法合成了5-噻吩基-10,20-苯基-15-萘基卟啉,再利用Vilsmerier反应合成了目标化合物,目标化合物的结构经IR,
本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅的先驱粒子,氮或氩气为稀释气体,进行了大气压等离子体化学气相沉积类二氧化硅薄膜的实验研究.运用红外光谱(FTIR)、光电子能谱(XPS)和
碳纳米管(CNT)是理想的场发射阴极材料.本文分析了CNT的长度、直径以及排列密度与CNT阴极场增强因子的关系,研究了大面积CNT场发射阴极的丝网制备技术,包括CNT浆料配制、阴极
用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜，对这种薄膜进行了XRD分析，并对其光、电性能作了详细的研究。结果表明：ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相，没有Al203相出现；其最低电阻率为4
小学语文课堂是时时充满智慧的挑战，因为小学生的思维容易不着边际，所以在课堂上经常出现常人不会出现的大胆提问，课堂教学过程随时会出现一些不确定的因素，教师的课前预设往往被学生的思维带离正常的轨道，这就需要教师在教学的时候灵活处理，用自己的智慧巧妙处理随时出现的教学尴尬。这就要求教师充分展现自己的教学机智，或许，课堂加一点意想不到的尴尬，只要教师处理的好，很可能成为生成的教学资源，整节课也许会因此而成
黎介寿院士从医数十年,见证了中国外科的成长,并在临床工作和研究中为医疗事业进步作出了众多重要的贡献。本文中,笔者结合自己的从医以来在'肠功能障碍'、'快速
简要介绍了中子管的结构和基本原理,并对长寿命中子管制作中的关键技术,气压调解元件、磁钢、加速电极、管壳材料选取及加工方法,排气和充氘氚工艺等,进行了详细的介绍.采用
目前抗EGFR治疗只应用于KRAS野生型转移性结直肠患者，然在这些患者的获益率只有不到40％。因而寻找更多更精确的生物标志物用于筛选出最适宜的治疗患者显得尤为迫切。为此，多中心