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微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难。介绍了一种基于频闪照明与显微相移干涉原理的微结构三维运动测量方法,并给出了微镜的测量结果。测量结果可作为设计与制造工艺反馈。
基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法
【摘 要】
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微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难。介绍了一种基于频闪照明与显微相移干涉原理的微结构三维运动测量方法,并给出了微镜的测量结果。测量结果可作为设计与制造工艺反馈。
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2008年06期
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