微波谐振腔微扰法测量材料介电常数的精度分析

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基于微波谐振腔微扰技术,利用有限元分析软件ANSYS、腔体微扰精确解方程和近似解公式,分析了材料尺寸、形状和介电常数大小对材料介电常数测量精度的影响。仿真结果表明,当材料介电常数和样品尺寸较小时,以上3种方法得到的结果相同,否则,测量误差极大。因此,必须针对材料形状和不同介电常数范围设计微波谐振腔,才能保证材料介电常数的测量精度。
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