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介绍了国内外对电磁屏蔽膜(EMI)研究的现状,比较了制备EMI膜的各种方法,指出采用磁控溅射法制备的EMI膜质量较好,并给出制备EMI膜的工艺流程。
电磁屏蔽膜设备的开发及应用
【摘 要】
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介绍了国内外对电磁屏蔽膜(EMI)研究的现状,比较了制备EMI膜的各种方法,指出采用磁控溅射法制备的EMI膜质量较好,并给出制备EMI膜的工艺流程。
【机 构】
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肇庆市科润真空设备有限公司
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2007年03期
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