混成非致冷红外器件可生产性进展

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几项关键加工工艺的发展,正在推动混成非致冷红外探测器现有制备技术向前发展。按照一份为期四年的可生产性行程图,离子铣网状结构方法、晶片加工方法以及标准半导体加工工艺正在向实施阶段靠近。本文介绍几项原理验证实验及实验结果,并将目前的工艺方法同原有的一个精细的工艺模型进行了比较。由于推力在继续朝低成本、大批量生产方向推进,所以侧重点依然在瞬时性能改进方面。分析及初步数据表明,利用已确定的战略,完全能够达到中等性能和低探测器成本的目标。
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