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期刊论文
锗片的高速机械化学研磨工艺研究
锗片的高速机械化学研磨工艺研究
来源 :机械研究与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aqcnbbz1
【摘 要】
:
利用机械化学研磨的原理对锗片进行高速研磨。以研磨压力、主轴转速、磨料成分和磨料粒度为影响材料的去除率和工件表面粗糙度的主要因素,进行对比性实验,通过实验分析研究确
【作 者】
:
张心明
黎塑飞
刘建河
范景峰
【机 构】
:
长春理工大学机电工程学院
【出 处】
:
机械研究与应用
【发表日期】
:
2011年05期
【关键词】
:
锗单晶片
研磨
固着磨料
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利用机械化学研磨的原理对锗片进行高速研磨。以研磨压力、主轴转速、磨料成分和磨料粒度为影响材料的去除率和工件表面粗糙度的主要因素,进行对比性实验,通过实验分析研究确定了的锗片研磨加工工艺,加工后的锗片能够满足使用需要。
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