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设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证。结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好。
硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究
【摘 要】
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设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实
【机 构】
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郑州大学机械工程学院,上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2008年3期
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