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根据平面区域变换的原理,导出电子束曝光机扫描场的畸变校正函数,并给出计算机模拟校正的结果。
电子束曝光系统扫描场的畸变校正
【摘 要】
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根据平面区域变换的原理,导出电子束曝光机扫描场的畸变校正函数,并给出计算机模拟校正的结果。
【机 构】
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山东工业大学电机工程系
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1989年2期
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