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微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。
用于微器件装配的微操作系统
【摘 要】
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微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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机器人
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国防九五科研项目
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