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近几年来，随着中国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。中国在电子特种气体国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开中国市场。
电子特种气体国产化连程加速
【摘 要】
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近几年来，随着中国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。中国在电子特种气体国产化方面取
【出 处】
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化工科技市场
【发表日期】
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2010年11期
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